先將有機廢氣用活性炭吸附 ,然後用熱氣流將有機物從活性炭上脫附下來使活性炭再生 ;脫附下來的有機物已被濃縮(濃度較原來提高幾十倍)並送往催化燃燒室燃燒成二氧化碳及水蒸氣排出 。當有機廢氣的濃度達到2000mg/m³以上時 ,有機廢氣在催化床可維持自然 ,不用外加熱 。燃燒後的尾氣一部分排入大氣,大部分被送往吸附床,用於活性炭再生 。這樣可以滿足燃燒和吸附所需要的熱能 ,達到節能的目的 。再生後的可進入下次吸附 ;在脫附時 ,淨化操作可用另一個吸附床進行 ,即適合於連續操作 ,也適合於間斷操作
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